Назив предмета: Физика површина и танких слојева

Наставник: Наташа Бибић

Статус предмета: изборни

Број ЕСПБ: 15

Услов: нема посебних услова

Циљ предмета

Упознавање са фундаменталним физичким особинама површина и танкослојних структура. Овладавање екпсерименталним техникама депоновања танких слојева и анализе структурних, електричних и механичких особина танких слојева..

Исход предмета:

Разумевање основних феномена физике површина и танких слојева. Оспособљавање за самосталан истраживачки рад  у области физике површина и танких слојева.

Садржај предмета

Увод у физику површина: површинска енергија и термодинамичке особине. Особине танких слојева: микроструктурне карактеристике, дефекти и нечистоће, термодинамичке особине и фазни прелази, кинетика и дифузиони процеси, нуклеација и раст. Модели раста и формирања танких слојева. Методе депоновања танких слојева: распрашивање, вакуумско депоновање, епитаксијални раст, хемијско вакуумско депоновање. Методе карактеризације танких слојева - експерименталне технике за структурну карактеризацију и анализу састава; мерење и анализа електричних, магнетних, механичких и оптичких особина.

Литература

1.       J.W.Mayer and S.S.Lau, Electronic Material Science: For Integrated Circuits in Si and Ga As (Macmillan Publ.Co., 1990)

2.       K.L. Chopra, Thin Film Phenomena  (McGrow-Hill, 1970)

3.       L.I. Handbook of Thin Film Technology (McGrow-Hill, 1970)

4.       Додатана литература, низ квалитетних књига и прегледних радова

Број часова  активне наставе: 15

Теоријска настава: 15

Практична настава:

Методе извођења наставе

Предавања и дискусије по предложеној и допунској литератури,  упознавање и рад на експерименталним уређајима.

Оцена  знања (максимални број поена 100)

Предиспитне обавезе

поена

 

Завршни испит

поена

активност у току предавања/консултација

10

усмени испит

20

задаци

10

писмени испит

20

семинар

40

 

 

Начин провере знања могу бити различити наведено  у табели су само неке опције: (писмени испити, усмени испт, презентација пројекта, семинари итд......

*максимална дужна 1 страница А4 формата