|
Назив
предмета: Интеракција
плазме и
ласера са
површинама |
|||||
|
Наставник:
Јaгош Пурић |
|||||
|
Статус
предмета: изборни |
|||||
|
Број
ЕСПБ: 15 |
|||||
|
Услов: нема
посебних
услова |
|||||
|
Циљ
предмета Проучавање
основних
процеса и
феномена везаних
за интеракцију
плазме и
ласера са
површинама.
Овладавање
техникама
третмана
површина плазмом
и ласером. |
|||||
|
Исход
предмета: Разумевање
процеса на
третираним
површинама.
Оспособљавање
за
самосталан
истраживачки
рад:
коришћење
дијагностичких
метода за
проучавање
интеракције,
дијагностика
површина
после
третмана. |
|||||
|
Садржај
предмета Кристали
и аморфна
тела;
Дефекти у
кристалу; Механички
и термални
напон;
Пластичност
и кртост;
Каљење; Течности
и растопи; Топљење
и
очвршћавање;
Формирање
капљица и
њихова
депозиција;
Нестабилности
на површини
течности;
Кретање у
течностима;
Брза рекристализација;
Ерозија:
испаравање,
распршивање,
аблација; Ласерски
индукована
плазма; Депозиција;
Формирање
танких
филмова;
Хемијска
депозиција (CVD,
PECVD);
Физичка депозиција
(Molecular Beam Epitaxy,
PVD,
PLD);
Фрактали
и дендрити; Имплантација;
Нагризање;
Микро и
нанолитиграфија;
Интеракција
нискотемпературне
плазме и
млазева
плазме са
површинама;
Формирање
наноструктура
у плазми;
Добијање наноструктура
на
третираним
површинама;
Интеракција
ласера са
површинама;
Интеракција
јонских
снопова са
површинама. |
|||||
|
Литература
1. Roth J.R., Industrial
Plasma Engineering, 2.
Grill A., Cold Plasma
in Materials Fabrication, IEEE Press, 3. Арутюнян
Р.В., Баранов
В.Ю., Большов
Л.А., Малюта Д.Д
и Себрант А.Ю.,
Воздействие
лазерного
излучения
на
материалы,
Наука, Москва, 1989. 4. Fahrner W.R., Nanotechnology and
Nanoelectronics, Springer, 5. Vickerman J.C., Surface Analysis
- the Principal Techniques, John Wiley & Sons, |
|||||
|
Број
часова активне
наставе: 15 |
Теоријска
настава: 10 |
Практична
настава: 5 |
|||
|
Методе
извођења
наставе Предавања,
консултације,
демонстрације,
семинар,
задаци. |
|||||
|
Оцена знања
(максимални
број поена 100) |
|||||
|
Предиспитне
обавезе |
поена |
Завршни
испит |
поена |
||
|
активност
у току
предавања/консултација |
10 |
усмени
испит |
40 |
||
|
задаци |
20 |
|
|
||
|
семинар |
30 |
|
|
||
|
Начин
провере
знања могу
бити
различити наведено у
табели су
само неке
опције: (писмени
испити,
усмени испт,
презентација
пројекта,
семинари
итд...... |
|||||
|
*максимална
дужна 1
страница А4
формата |
|||||