Студијски програм: Дипломске академске студије - Примењена и компј. физика

Назив предмета: Примена плазме у обради материјала и нанотехнологији

Наставник: Доцент др Иван Дојчиновић

Статус предмета: Изборни

Број ЕСПБ: 4

Услов: Положен предмет Основи физике јонизованих гасова.

Циљ предмета: Да упозна студенте са основама примене плазме у обради материјала и нанотехнологији.

Исход предмета: Усвајање основних појмова везаних за рад извора плазме погодних за обраду материјала и примену у нанотехнологији. Стицање основе неопходне за практичну примену ових извора. Припрема студената за дијагностику третираних површина и добијених наноструктура.

Садржај предмета:

Теоријска настава: Процеси на електродама; Распршивање материјала са електрода; Процеси у плазми од значаја за обраду материјала и добијање наноструктура; Тињаво пражњење, корона, РФ плазма, МТ плазма; Лучно пражњење; Плазмотрони: лучни, РФ, МТ, ласерски; Убрзавачи плазме; Плазма компресори; Основе дијагностике плазме; Основе дијагностике третираних материјала и наноструктура; Микроскопија (SEM, AFM, TEM); Рентгено-структурна анализа (XRD); Раманова спектроскопија; Електронске микроскпије (AES, LEED, RHEED); Остале дијагностичке методе; Интеракција плазме са површинама; Интеракција ласера и јонских снопова са површинама; Основне особине кристала и аморфних тела; Основне особине течности и растопа; Ерозија: испаравање, распршивање, аблација; Формирање плазме на третираној површини; Прашкаста плазма; Депозиција (CVD, PECVD, PVD); Наношење танких слојева; Чишћење, оксидација, очвршћавање површина; Формирање наноструктура (наноцеви, наножице, фулерени...); Добијање наноструктура на третираним површинама; Основни процеси раста (VLS, V-S, SLS механизми); Имплантација; Нагризање плазмом; Микро и нанолитиграфија.

Практична настава: Уводни део: упознавање са изворима плазме. Експерименталне вежбе: 1. Плазмотрони; 2. Убрзавачи плазме; 3. Третирање површине челика плазмом и дијагностика насталих промена; 4. Третирање површине силицијума плазмом; 5. Дијагностика третиране површине силицијума (ОМ, СЕМ, АФМ); 6. Дијагностика наноструктура силицијума.

Литература:

1. Roth J.R., Industrial Plasma Engineering, Institute of Physics Publishing, Bristol & Philadelphia, 2001.

2. Grill A., Cold Plasma in Materials Fabrication, IEEE Press, New York, 1994.

3. Fahrner W.R., Nanotechnology and Nanoelectronics, Springer, Berlin, 2005.

4. Vickerman J.C., Surface Analysis - the Principal Techniques, John Wiley & Sons, Chichester, England, 1997.

Број часова  активне наставе: 4

Теоријска настава: 2

 

Практична настава: 2

Методе извођења наставе:

Предавања (теоријска обрада тематских јединица, практични примери, демонстрациони  огледи), семинарски рад, експерименталне вежбе.

Оцена  знања (максимални број поена 100)

Предиспитне обавезе

поена

 

Завршни испит

поена

активност у току предавања

20

усмени испит

40

практична настава

10

колоквијум

10

семинар

20